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文献
J-GLOBAL ID：200902260155039233
整理番号：06A0340263
低圧表面波プラズマ源におけるラジカルプラズマ密度分布に与える石英側壁影響の検討
Investigation of Quartz Side Wall Influence on Radial Plasma Density Profiles in Low-Pressure Surface Wave Plasma Source
SIRY Milan
(Shizuoka Univ., Shizuoka, JPN)
,
SAKATA Shinichiro
(Shizuoka Univ., Shizuoka, JPN)
,
TEREBESSY Tibor
(Shizuoka Univ., Shizuoka, JPN)
,
KANDO Masashi
(Shizuoka Univ., Shizuoka, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 45 号： 4A ページ： 2749-2756 発行年： 2006年04月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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