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文献
J-GLOBAL ID：200902260187035930
整理番号：03A0336555
光ファイバからの点光源回折球面波を計測の絶対基準とした位相シフト光干渉計の開発
Development of Phase-Shifting Point Diffraction Interferometry with Fiber Point Sources
押鐘寧
(大阪大 大学院工学研究科)
,
片岡俊彦
(大阪大 大学院工学研究科)
,
遠藤勝義
(大阪大 大学院工学研究科)
,
野口彰宏
(大阪大 大学院工学研究科)
,
井上晴行
(大阪大 大学院工学研究科)
,
中野元博
(大阪大 大学院工学研究科)
資料名：
精密工学会誌
(Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 69 号： 5 ページ： 678-682 発行年： 2003年05月05日
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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