文献
J-GLOBAL ID:200902261081240329
整理番号:04A0357039
単結晶シリコンダイヤフラムとバックプレートをもつ高性能シリコン・コンデンサマイクロホンの新しい作製プロセス
NEW FABRICATION PROCESS FOR HIGH-PERFORMANCE SILICON CONDENSER MICROPHONE WITH MONOCRYSTALLINE SILICON DIAPHRAGM AND BACKPLATE
著者 (9件):
IGUCHI Y
(Japan Broadcasting Corp., JPN)
,
TAJIMA T
(Japan Broadcasting Corp., JPN)
,
GOTO M
(Japan Broadcasting Corp., JPN)
,
IWAKI M
(Japan Broadcasting Corp., JPN)
,
ANDO A
(Japan Broadcasting Corp., JPN)
,
TANIOKA K
(Japan Broadcasting Corp., JPN)
,
TAKESHI F
(Panasonic SC Device Solutions Co., Ltd., JPN)
,
MATSUNAGA S
(Panasonic SC Device Solutions Co., Ltd., JPN)
,
YASUNO Y
(Panasonic SC Device Solutions Co., Ltd., JPN)
資料名:
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻:
17th
ページ:
601-604
発行年:
2004年
JST資料番号:
W0377A
ISSN:
1084-6999
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)