文献
J-GLOBAL ID:200902261233020206
整理番号:08A0711111
22nmノードCMOSデバイスへ向けてのナノインプリントの応用の研究
Study of nanoimprint applications toward 22nm node CMOS devices
著者 (7件):
YONEDA Ikuo
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
MIKAMI Shinji
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
OTA Takumi
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
KOSHIBA Takeshi
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
ITO Masamitsu
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
NAKASUGI Tetsuro
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
HIGASHIKI Tatsuhiko
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
6921
号:
Pt.1
ページ:
692104.1-692104.8
発行年:
2008年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)