文献
J-GLOBAL ID:200902261418363126
整理番号:08A1101412
SrZrO3ターゲットのレーザアブレーションによる堆積膜の元素組成の角度分布
Angular distribution of elemental composition of films deposited by laser ablation of a SrZrO3 target
著者 (4件):
KONOMI I.
(Toyota Technological Inst., 2-12-1 Hisakata, Tempaku-ku, Nagoya 468-8511, Japan and Toyota Central Res. and Dev. ...)
,
MOTOHIRO T.
(Toyota Technological Inst., 2-12-1 Hisakata, Tempaku-ku, Nagoya 468-8511, Japan and Toyota Central Res. and Dev. ...)
,
HORII M.
(Toyota Central Res. and Dev. Laboratories, Inc., 41-1 Yokomichi, Nagakute, Aichi 480-1192, JPN)
,
KAWASUMI M.
(Toyota Central Res. and Dev. Laboratories, Inc., 41-1 Yokomichi, Nagakute, Aichi 480-1192, JPN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
26
号:
6
ページ:
1455
発行年:
2008年11月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)