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文献
J-GLOBAL ID：200902261658741209
整理番号：08A0569157
パルス放電プラズマCVD法で蒸着したDLC膜の微細構造と光学バンドギャップ制御
Microstructure and optical band gap control of DLC film deposited by pulsed discharge plasma CVD
NODA M.
(Dep. of Electronics and Information Engineering, Chubu Univ., Kasugai, Aichi 487 8501, JPN)
,
SHINAGAWA T.
(Dep. of Electronics and Information Engineering, Chubu Univ., Kasugai, Aichi 487 8501, JPN)
,
KAWAI S.
(DENSO Res. Laboratories, Komenogi, Nissin, Aichi 470 0111, JPN)
,
UMENO M.
(Dep. of Electronics and Information Engineering, Chubu Univ., Kasugai, Aichi 487 8501, JPN)
資料名：
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻： 17 号： 4-5 ページ： 646-649 発行年： 2008年04月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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