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文献
J-GLOBAL ID：200902262177743069
整理番号：08A1236991
テトラメチルシラン-酸素のガス混合物を用いるプラズマ増強気相化学蒸着による屈曲性基板上の表面改質層
Surface modification layer deposition on flexible substrates by plasma-enhanced chemical vapour deposition using tetramethylsilane-oxygen gas mixture
WU Cheng-Yang
(National Formosa Univ., Huwei, TWN)
,
CHEN Wen-Cheng
(National Formosa Univ., Huwei, TWN)
,
LIU Day-Shan
(National Formosa Univ., Huwei, TWN)
資料名：
Journal of Physics. D. Applied Physics
(Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 41 号： 22 ページ： 225305,1-8 発行年： 2008年11月21日
JST資料番号： B0092B ISSN： 0022-3727 CODEN： JPAPBE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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