文献
J-GLOBAL ID:200902262806909579
整理番号:09A0759304
珪素表面酸化の初期段階の運動学: Deal-Groveか表面核形成か
Kinetics of the initial stage of silicon surface oxidation: Deal-Grove or surface nucleation?
著者 (3件):
LEVCHENKO I.
(CSIRO Materials Sci. and Engineering, P.O. Box 218, Lindfield, New South Wales 2070, AUS)
,
CVELBAR U.
(Jozef Stefan Inst., Jamova cesta 39, SI-1000 Ljubljana, SVN)
,
OSTRIKOV K.
(CSIRO Materials Sci. and Engineering, P.O. Box 218, Lindfield, New South Wales 2070, AUS)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
95
号:
2
ページ:
021502
発行年:
2009年07月13日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)