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文献
J-GLOBAL ID：200902263150815102
整理番号：07A1233077
空洞ターゲットを用いた炭酸ガスレーザ生成Snプラズマからの極端紫外線放出増強
Enhancement of extreme ultraviolet emission from a CO2 laser-produced Sn plasma using a cavity target
UENO Yoshifumi
(EUVA (Extreme Ultraviolet Lithography System Dev. Association), 1200 Manda, Hiratsuka, Kanagawa 254-8567, JPN)
,
SOUMAGNE Georg
(EUVA (Extreme Ultraviolet Lithography System Dev. Association), 1200 Manda, Hiratsuka, Kanagawa 254-8567, JPN)
,
SUMITANI Akira
(EUVA (Extreme Ultraviolet Lithography System Dev. Association), 1200 Manda, Hiratsuka, Kanagawa 254-8567, JPN)
,
ENDO Akira
(EUVA (Extreme Ultraviolet Lithography System Dev. Association), 1200 Manda, Hiratsuka, Kanagawa 254-8567, JPN)
,
HIGASHIGUCHI Takeshi
(Dep. of Energy and Environmental Sci., Graduate School of Engineering, and Center for Optical Res. and Education ...)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 91 号： 23 ページ： 231501-231501-3 発行年： 2007年12月03日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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