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文献
J-GLOBAL ID：200902263414062604
整理番号：07A0730973
透過と反射の光学画像を収集する新型マスク検査光学系の開発
Development of Advanced mask inspection optics with transmitted and reflected light image acquisition
HIRANO Ryoichi
(Advanced Mask Inspection Technol. Inc. (AMiT), Kanagawa, JPN)
,
OGAWA Riki
(Advanced Mask Inspection Technol. Inc. (AMiT), Kanagawa, JPN)
,
SUZUKI Hitoshi
(Advanced Mask Inspection Technol. Inc. (AMiT), Kanagawa, JPN)
,
TAKAHARA Kenichi
(Advanced Mask Inspection Technol. Inc. (AMiT), Kanagawa, JPN)
,
TSUJI Yoshitake
(Advanced Mask Inspection Technol. Inc. (AMiT), Kanagawa, JPN)
,
MURAKAMI Shingo
(Advanced Mask Inspection Technol. Inc. (AMiT), Kanagawa, JPN)
,
KIKUIRI Nobutaka
(Advanced Mask Inspection Technol. Inc. (AMiT), Kanagawa, JPN)
,
USUDA Kinya
(Advanced Mask Inspection Technol. Inc. (AMiT), Kanagawa, JPN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 6518 号： Pt.2 ページ： 65181U.1-65181U.8 発行年： 2007年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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