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文献
J-GLOBAL ID：200902263538759719
整理番号：04A0511033
アルミ誘起結晶化法により作製した多結晶シリコン薄膜の組織観察
広田健
(九大 大学院)
,
高田尚記
(九大 大学院)
,
池田賢一
(九大 大学院総合理工学研究院)
,
吉田冬樹
(九大 大学院総合理工学研究院)
,
中島英治
(九大 大学院総合理工学研究院)
,
阿部弘
(九大 大学院総合理工学研究院)
,
杉本陽平
(九大 大学院)
,
中島寛
(九大 産学連携セ)
資料名：
日本金属学会・日本鉄鋼協会九州支部合同学術講演会講演概要集
(日本金属学会九州支部・日本鉄鋼協会九州支部合同学術講演大会講演概要集)
巻： 2004 ページ： P09 発行年： 2004年06月04日
JST資料番号： L2230A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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