文献
J-GLOBAL ID:200902263587974803
整理番号:07A0502775
UV固体レーザと予め決めた時間パルスパターンを用いてポリイミド中に加工したホールアレイ
Machining hole arrays in polyimide using a UV solid state laser and predetermined temporal pulse patterns
著者 (5件):
MULLAN Claire
(National Univ. Ireland, Galway, IRL)
,
ILIE Diana
(National Univ. Ireland, Galway, IRL)
,
O’CONNOR Gerard M
(National Univ. Ireland, Galway, IRL)
,
FAVRE Sebastian
(National Univ. Ireland, Galway, IRL)
,
GLYNN Thomas J
(National Univ. Ireland, Galway, IRL)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
6459
ページ:
64590G.1-64590G.12
発行年:
2007年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)