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文献
J-GLOBAL ID：200902263901427430
整理番号：06A0602579
扱いやすいプラズマ記述を用いてのマイクロ波プラズマの電力吸収とガス圧依存性の数値解析
Numerical analysis of power absorption and gas pressure dependence of microwave plasma using a tractable plasma description
YAMADA Hideaki
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
,
CHAYAHARA Akiyoshi
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
,
MOKUNO Yoshiaki
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
,
SODA Yousuke
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
,
HORINO Yuji
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
,
FUJIMORI Naoji
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
資料名：
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻： 15 号： 9 ページ： 1395-1399 発行年： 2006年09月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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