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J-GLOBAL ID：200902264195139422 整理番号：07A1109836

空圧式除振装置に対する元圧・元流量変動フィードフォワード制御

Feedforward Control of Supplied Air Pressure and Air Flow Fluctuations for Pneumatic Type Anti-Vibration Apparatus

著者 (4件)：

涌井伸二

(東京農工大大学院)

瓜生恭生

(東京農工大)

高橋正人

(ニコン)

山本幸治

(ニコン)

資料名：

精密工学会誌(CD-ROM) (精密工学会誌論文集)

巻： 73 号： 11 ページ： 1215-1219 発行年： 2007年11月05日
JST資料番号： F0268B ISSN： 1348-8716 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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