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文献
J-GLOBAL ID：200902264209842210
整理番号：04A0569031
RFバーストプラズマにおけるアフタグロー領域中のプラズマ密度の電圧-電流特性による評価
Estimation of plasma density in after-glow region of RF burst plasma based on voltage-current characteristics
WATANABE S
(Hiroshima Inst. of Technol., Hiroshima, JPN)
,
TANAKA T
(Hiroshima Inst. of Technol., Hiroshima, JPN)
,
TAKAGI T
(Hiroshima Inst. of Technol., Hiroshima, JPN)
,
YUKIMURA K
(Doshisha Univ., Kyotanabe, JPN)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 186 号： 1/2 ページ： 53-56 発行年： 2004年08月02日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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