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文献
J-GLOBAL ID：200902264275652589
整理番号：08A0569166
パルス放電プラズマCVD法を用いたアダマンタンからのDLC膜の蒸着
Deposition of DLC film from adamantane by using pulsed discharge plasma CVD
UMENO M.
(Dep. of Electronics and Information Engineering, Chubu Univ., Matsumoto-cho 1200, Kasugai-shi, Aichi-Ken, 487-8501, JPN)
,
NODA M.
(Dep. of Electronics and Information Engineering, Chubu Univ., Matsumoto-cho 1200, Kasugai-shi, Aichi-Ken, 487-8501, JPN)
,
UCHIDA H.
(Dep. of Electronics and Information Engineering, Chubu Univ., Matsumoto-cho 1200, Kasugai-shi, Aichi-Ken, 487-8501, JPN)
,
TAKEUCHI H.
(Dep. of Electronics and Information Engineering, Chubu Univ., Matsumoto-cho 1200, Kasugai-shi, Aichi-Ken, 487-8501, JPN)
資料名：
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻： 17 号： 4-5 ページ： 684-687 発行年： 2008年04月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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