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文献
J-GLOBAL ID：200902265033145433
整理番号：07A1048403
時定数操作によるフォトレジストへの高アスペクト比の穴と溝のレーザ加工
Laser fabrication of high-aspect-ratio holes and grooves in photoresist by time constant manipulation
EGAMI C.
(Fac. of Engineering, Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Hamamatsu 432-8561, JPN)
,
LIU Y.
(Fac. of Engineering, Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Hamamatsu 432-8561, JPN)
資料名：
Optics Communications
(Optics Communications)
巻： 280 号： 1 ページ： 188-191 発行年： 2007年12月01日
JST資料番号： A0678B ISSN： 0030-4018 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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