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文献
J-GLOBAL ID:200902265249418370   整理番号:08A0968416

超音波計測によるデバイス用シリコン結晶中の原子空孔観測

著者 (10件):
渡邊肇
(新潟大 大学院)
赤津光洋
(新潟大 大学院)
三本啓輔
(新潟大 大学院)
馬場正太郎
(新潟大 大学院)
永井勇太
(新潟大 大学院)
金田寛
(新潟大 物質量子科学研究セ)
後藤輝孝
(新潟大 大学院)
根本祐一
(新潟大 大学院)
石井勲
(新潟大 大学院)
中村慎太郎
(東北大 金属材料研)

資料名:
日本物理学会講演概要集  (日本物理学会年次大会講演概要集)

巻: 63  号: 2 第4分冊  ページ: 867  発行年: 2008年08月25日 
JST資料番号: S0671B  ISSN: 1342-8349  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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