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文献
J-GLOBAL ID：200902265290928023
整理番号：09A0270161
ナノリソグラフィーと酸素プラズマエッチングによる高度配向パイログラファイトとガラス状炭素の表面のパターン形成
Patterning of highly oriented pyrolytic graphite and glassy carbon surfaces by nanolithography and oxygen plasma etching
FREDRIKSSON H.
(Dep. of Applied Physics, Chalmers Univ. of Technol., 41296 Gothenburg, SWE)
,
CHAKAROV D.
(Dep. of Applied Physics, Chalmers Univ. of Technol., 41296 Gothenburg, SWE)
,
KASEMO B.
(Dep. of Applied Physics, Chalmers Univ. of Technol., 41296 Gothenburg, SWE)
資料名：
Carbon
(Carbon)
巻： 47 号： 5 ページ： 1335-1342 発行年： 2009年04月
JST資料番号： H0270B ISSN： 0008-6223 CODEN： CRBNA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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