文献
J-GLOBAL ID:200902265570523355
整理番号:06A0223617
シリコンマイクロマシニング熱流量センサの感度の強化
Sensitivity enhancement of a silicon micro-machined thermal flow sensor
著者 (3件):
ROH Sung-cheoul
(Dep. of Thermal and Fluid System, Korea Inst. of Machinery and Materials, 171 Jang-dong, Yusong-gu, Taejon 305-343, KOR)
,
CHOI Yong-moon
(Dep. of Fluid Flow, Korea Res. Inst. of Standards and Sci., 171 Jang-dong, Yusong-gu, Taejon 305-343, KOR)
,
KIM Soo-yong
(Dep. of Thermal and Fluid System, Korea Inst. of Machinery and Materials, 171 Jang-dong, Yusong-gu, Taejon 305-343, KOR)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
128
号:
1
ページ:
1-6
発行年:
2006年03月31日
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)