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文献
J-GLOBAL ID:200902266328790086   整理番号:04A0690292

トライボナノリソグラフィー(TNL)と化学エッチングを併用した極微細構造形成-マスキング作用のメカニズム-

著者 (7件):
川堰宣隆
(富山大 大学院)
PARK J W
(釜山大)
森田昇
(富山大 工)
山田茂
(富山大 工)
高野登
(富山大 工)
大山達雄
(富山大 工)
芦田極
(産業技術総合研)

資料名:
砥粒加工学会学術講演会講演論文集  (ABTEC)

巻: 2004  ページ: 315-316  発行年: 2004年09月01日 
JST資料番号: L0894A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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