文献
J-GLOBAL ID:200902266493278608
整理番号:07A0963967
電子ビームマスク描画におけるCAR上の加熱効果の研究
Study of Heating Effect on CAR in Electron Beam Mask Writing
著者 (10件):
KAMIKUBO Takashi
(NuFlare technol., Inc., Yokohama, JPN)
,
HIRAMOTO Makoto
(NuFlare technol., Inc., Yokohama, JPN)
,
YASHIMA Jun
(NuFlare technol., Inc., Yokohama, JPN)
,
TAKAHASHI Masazumi
(NuFlare technol., Inc., Yokohama, JPN)
,
NISHIMURA Rieko
(NuFlare technol., Inc., Yokohama, JPN)
,
KATSUMATA Takehiko
(NuFlare technol., Inc., Yokohama, JPN)
,
ANZE Hirohito
(NuFlare technol., Inc., Yokohama, JPN)
,
SUNAOSHI Hitoshi
(NuFlare technol., Inc., Yokohama, JPN)
,
TAMAMUSHI Shuichi
(NuFlare technol., Inc., Yokohama, JPN)
,
OGASAWARA Munehiro
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
6607
号:
Pt.2
ページ:
660723.1-660723.9
発行年:
2007年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)