文献
J-GLOBAL ID:200902266739734969
整理番号:08A0675533
ArF露光中のPAG(光酸発生剤)からの酸発生速度定数の測定技法
Techniques for Measuring Rate Constants for Acid Generation from PAG (Photo Acid Generator) during ArF Exposure
著者 (4件):
SEKIGUCHI Atsushi
(Litho Tech Japan Corp., Saitama, JPN)
,
KONO Yoshiyuki
(Litho Tech Japan Corp., Saitama, JPN)
,
ODA Fumihiko
(Ushio Inc, Hyogo, JPN)
,
MORIMOTO Yukihiro
(Ushio Inc, Hyogo, JPN)
資料名:
Journal of Photopolymer Science and Technology
(Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻:
21
号:
1
ページ:
69-73
発行年:
2008年
JST資料番号:
L0202A
ISSN:
0914-9244
CODEN:
JSTEEW
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)