文献
J-GLOBAL ID:200902266853568092
整理番号:07A1084008
2種類のポリイミドをターゲットとして銅基板上へスパッタした高分子薄膜の特性決定
Characterization of Polymer Thin Films Sputtered onto a Copper Substrate with Two Kinds of Polyimide Targets
著者 (4件):
IWAMORI Satoru
(Kanazawa Univ., Kanazawa, JPN)
,
KEZUKA Kazuya
(Kanazawa Univ., Kanazawa, JPN)
,
UEMURA Akihiro
(Kanazawa Univ., Kanazawa, JPN)
,
UEMURA Akihiro
(Nakai Techno Co., Ltd., Nara, JPN)
資料名:
Molecular Crystals and Liquid Crystals
(Molecular Crystals and Liquid Crystals)
巻:
471
ページ:
99-111
発行年:
2007年08月
JST資料番号:
B0877A
ISSN:
1542-1406
CODEN:
MCLCE9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)