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文献
J-GLOBAL ID：200902267163020937
整理番号：06A0256615
組込みポリSi薄膜トランジスタにより制御されたHfC電界放出アレイ
HfC field emitter array controlled by built-in poly-Si thin film transistor
NAGAO M.
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., AIST Tsukuba Central 2, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, JPN)
,
YASUMURO C.
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., AIST Tsukuba Central 2, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, JPN)
,
SACHO Y.
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., AIST Tsukuba Central 2, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, JPN)
,
TANOUE H.
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., AIST Tsukuba Central 2, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, JPN)
,
KANEMARU S.
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., AIST Tsukuba Central 2, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, JPN)
,
ITOH J.
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., AIST Tsukuba Central 2, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 24 号： 2 ページ： 936-939 発行年： 2006年03月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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