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文献
J-GLOBAL ID:200902267717699333   整理番号:05A1022896

矩形石英板回転クリーナにおける空気流

Air Flow in Square Quartz Plate Spin Cleaner
著者 (6件):
HABUKA Hitoshi
(Yokohama National Univ., Yokohama, JPN)
PAN Hairong
(Yokohama National Univ., Yokohama, JPN)
FUJITA Ko
(Pre-Tech Co., Ltd., Tokyo, JPN)
KATO Masayuki
(Pre-Tech Co., Ltd., Shizuoka, JPN)
TAKEUCHI Takashi
(Yokohama National Univ., Yokohama, JPN)
AIHARA Masahiko
(Yokohama National Univ., Yokohama, JPN)

資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)

巻: 44  号: 11  ページ: 8182-8185  発行年: 2005年11月15日 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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