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文献
J-GLOBAL ID：200902267843873799
整理番号：04A0876841
ナノメータコンポジット材料 反応スパッタ法によるTi-Al-Si-Nナノコンポジット膜の作製
Preparation of Ti-Al-Si-N Nano-composite Films by Reactive Sputtering
野瀬正照
(高岡短大)
,
鈴木宏章
(富山大 大学院)
,
奥村善雄
(大同工業 技術部)
,
本保栄治
(富山県工技セ)
,
前健彦
(富山工高専)
,
穴田博
(富山大 工)
,
野城清
(大阪大 接合科研)
資料名：
粉体および粉末冶金
(Journal of the Japan Society of Powder and Powder Metallurgy)
巻： 51 号： 11 ページ： 802-807 発行年： 2004年11月15日
JST資料番号： F0691A ISSN： 0532-8799 CODEN： FOFUA2 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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