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文献
J-GLOBAL ID:200902267884888822   整理番号:06A0605831

(001)ダイアモンド上での水素プラズマエッチング機構

Hydrogen plasma etching mechanism on (001) diamond
著者 (12件):
RI Sung-gi
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki ...)
RI Sung-gi
(Core Res. for Evolutional Sci. and Technol. (CREST), Japan Sci. and Technol. Agency (JST), c/o AIST, JPN)
WATANABE Hideyuki
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki ...)
WATANABE Hideyuki
(Core Res. for Evolutional Sci. and Technol. (CREST), Japan Sci. and Technol. Agency (JST), c/o AIST, JPN)
OGURA Masahiko
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki ...)
OGURA Masahiko
(Core Res. for Evolutional Sci. and Technol. (CREST), Japan Sci. and Technol. Agency (JST), c/o AIST, JPN)
TAKEUCHI Daisuke
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki ...)
TAKEUCHI Daisuke
(Core Res. for Evolutional Sci. and Technol. (CREST), Japan Sci. and Technol. Agency (JST), c/o AIST, JPN)
YAMASAKI Satoshi
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki ...)
YAMASAKI Satoshi
(Core Res. for Evolutional Sci. and Technol. (CREST), Japan Sci. and Technol. Agency (JST), c/o AIST, JPN)
OKUSHI Hideyo
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki ...)
OKUSHI Hideyo
(Core Res. for Evolutional Sci. and Technol. (CREST), Japan Sci. and Technol. Agency (JST), c/o AIST, JPN)

資料名:
Journal of Crystal Growth  (Journal of Crystal Growth)

巻: 293  号:ページ: 311-317  発行年: 2006年08月01日 
JST資料番号: B0942A  ISSN: 0022-0248  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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