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文献
J-GLOBAL ID：200902267918209547
整理番号：08A0425789
格子間酸素に起因した金属電極/Hf系ゲート絶縁膜の実効仕事関数変調
喜多祐起
(大阪大 大学院)
,
景井悠介
(大阪大 大学院)
,
細井卓治
(大阪大 大学院)
,
志村考功
(大阪大 大学院)
,
渡部平司
(大阪大 大学院)
,
白石賢二
(筑波大)
,
門島勝
(SELETE)
,
奈良安雄
(SELETE)
,
山田啓作
(早稲田大)
資料名：
応用物理学関係連合講演会講演予稿集
(Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 55th 号： 2 ページ： 853 発行年： 2008年03月27日
JST資料番号： Y0054A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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