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文献
J-GLOBAL ID：200902268158237215
整理番号：05A0666470
エキシマレーザ結晶化を用いた位置制御Si島におけるコインシデンスサイト格子結晶粒界の電気特性
Electrical property of coincidence site lattice grain boundary in location-controlled Si island by excimer-laser crystallization
ISHIHARA R.
(Delft Univ. of Technol., Fac. of EEMCS, Feldmannweg 17, PO Box 5053, 2600 GB Delft, NLD)
,
HE M.
(Delft Univ. of Technol., Fac. of EEMCS, Feldmannweg 17, PO Box 5053, 2600 GB Delft, NLD)
,
RANA V.
(Delft Univ. of Technol., Fac. of EEMCS, Feldmannweg 17, PO Box 5053, 2600 GB Delft, NLD)
,
HIROSHIMA Y.
(Seiko-Epson, Technol. Platform Res. Center, Nagano, JPN)
,
INOUE S.
(Seiko-Epson, Technol. Platform Res. Center, Nagano, JPN)
,
SHIMODA T.
(Seiko-Epson, Technol. Platform Res. Center, Nagano, JPN)
,
METSELAAR J.w.
(Delft Univ. of Technol., Fac. of EEMCS, Feldmannweg 17, PO Box 5053, 2600 GB Delft, NLD)
,
BEENAKKER C.i.m.
(Delft Univ. of Technol., Fac. of EEMCS, Feldmannweg 17, PO Box 5053, 2600 GB Delft, NLD)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 487 号： 1-2 ページ： 97-101 発行年： 2005年09月01日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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