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文献
J-GLOBAL ID：200902268379220929
整理番号：09A0072277
膜応力のStoney方程式の100周年を祝って 多結晶鋼板から単結晶シリコンウエハへの発展
Celebrating the 100th anniversary of the Stoney equation for film stress: Developments from polycrystalline steel strips to single crystal silicon wafers
JANSSEN G.c.a.m.
(Materials Sci. & Engineering, TU Delft, Mekelweg 2, 2628 CD Delft, NLD)
,
ABDALLA M.m.
(Aerospace Structures & Materials, TU Delft, Kluyverweg 1, 2629 HS Delft, NLD)
,
VAN KEULEN F.
(Precision and Microsystems Engineering, TU Delft, Mekelweg 2, 2628 CD Delft, NLD)
,
PUJADA B.r.
(Materials Innovation Inst., Mekelweg 2, 2628 CD Delft, Netherlands and Materials Sci. & Engineering, TU Delft ...)
,
VAN VENROOY B.
(TNO Sci. and Ind., Stieltjesweg 1, 2600 AD Delft, NLD)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 517 号： 6 ページ： 1858-1867 発行年： 2009年01月30日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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