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文献
J-GLOBAL ID：200902268484385402
整理番号：06A1033787
広いビームエネルギー及び電流領域を有するイオンビーム源の開発
Development of Ion Beam Sources with Wide Beam Energy and Current Ranges
SAKAKITA Hajime
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
KIYAMA Satoru
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
HIRANO Yoichi
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
KOGUCHI Haruhisa
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
YAGI Yasuyuki
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 45 号： 10B ページ： 8531-8536 発行年： 2006年10月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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