文献
J-GLOBAL ID:200902268760686225
整理番号:09A0214434
無線周波数プラズマの二つのモードにおける電子温度の新しい放射プローブによる測定
New Emissive Probe Measurements of Electron Temperature in Two Modes of Radio-Frequency Plasmas
著者 (2件):
KUSABA Kouta
(Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
,
SHINDO Haruo
(Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
48
号:
2
ページ:
026001.1-026001.6
発行年:
2009年02月25日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)