文献
J-GLOBAL ID:200902269207820769
整理番号:09A0081698
モアレ干渉縞パターンを用いたインプリントリソグラフィのアライメントの測定法
Alignment measurement method for imprint lithography using moire fringe pattern
著者 (5件):
SHAO Jinyou
(Xi’an Jiaotong Univ., Shaanxi, CHN)
,
LIU Hongzhong
(Xi’an Jiaotong Univ., Shaanxi, CHN)
,
DING Yucheng
(Xi’an Jiaotong Univ., Shaanxi, CHN)
,
WANG Li
(Xi’an Jiaotong Univ., Shaanxi, CHN)
,
LU Binghen
(Xi’an Jiaotong Univ., Shaanxi, CHN)
資料名:
Optical Engineering
(Optical Engineering)
巻:
47
号:
11
ページ:
113604.1-113604.7
発行年:
2008年11月
JST資料番号:
B0577B
ISSN:
0091-3286
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)