文献
J-GLOBAL ID:200902270859360040
整理番号:07A0452334
Kinetic Monte Carlo法によるAl薄膜成長における島形成過程の解析
Formation of Atomistic Island in Al Film Growth by Kinetic Monte Carlo
著者 (7件):
山本昌裕
(大阪大 大学院工学研究科)
,
國澤康平
(大阪大 大学院工学研究科)
,
藤並明徳
(大阪大 大学院工学研究科 創造工セ)
,
尾方成信
(大阪大 大学院工学研究科)
,
尾方成信
(大阪大 大学院工学研究科 原子分子イオン制御理工セ)
,
渋谷陽二
(大阪大 大学院工学研究科)
,
渋谷陽二
(大阪大 大学院工学研究科 原子分子イオン制御理工セ)
資料名:
日本機械学会論文集 A編
(Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series A)
巻:
73
号:
728
ページ:
490-497
発行年:
2007年04月25日
JST資料番号:
F0227B
ISSN:
0387-5008
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)