文献
J-GLOBAL ID:200902270883768700
整理番号:05A0610064
選択的スティクションに基づく垂直方向くし歯形アクチュエータ
SELECTIVE STICTION BASED VERTICAL COMB ACTUATORS
著者 (3件):
KIM Jongbaeg
(Univ. California, Berkeley)
,
CHRISTENSEN Dane
(Univ. California, Berkeley)
,
LIN Liwei
(Univ. California, Berkeley)
資料名:
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻:
18th
ページ:
403-406
発行年:
2005年
JST資料番号:
W0377A
ISSN:
1084-6999
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)