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文献
J-GLOBAL ID:200902270901455073   整理番号:05A0586479

低い-Kと低い-CTEポリイミドの環境に優しいポジティブ-とネガティブトーン光パターニング系

Environmentally Friendly Positive- and Negative-tone Photo-patterning Systems of Low-K and Low-CTE Polyimides
著者 (2件):
HASEGAWA Masatoshi
(Toho Univ., Chiba, JPN)
TOMINAGA Azumi
(Toho Univ., Chiba, JPN)

資料名:
Journal of Photopolymer Science and Technology  (Journal of Photopolymer Science and Technology)

巻: 18  号:ページ: 307-312  発行年: 2005年 
JST資料番号: L0202A  ISSN: 0914-9244  CODEN: JSTEEW  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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