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J-GLOBAL ID：200902270901455073 整理番号：05A0586479

低い-Kと低い-CTEポリイミドの環境に優しいポジティブ-とネガティブトーン光パターニング系

Environmentally Friendly Positive- and Negative-tone Photo-patterning Systems of Low-K and Low-CTE Polyimides

著者 (2件)：

HASEGAWA Masatoshi

(Toho Univ., Chiba, JPN)

TOMINAGA Azumi

(Toho Univ., Chiba, JPN)

資料名：

Journal of Photopolymer Science and Technology (Journal of Photopolymer Science and Technology)

巻： 18 号： 2 ページ： 307-312 発行年： 2005年
JST資料番号： L0202A ISSN： 0914-9244 CODEN： JSTEEW 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

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