文献
J-GLOBAL ID:200902270961786664
整理番号:06A0510612
反応性マグネトロンスパッタリングにより蒸着した酸窒化タンタル薄膜の光学的および機械的特性
Optical and mechanical properties of tantalum oxynitride thin films deposited by reactive magnetron sputtering
著者 (3件):
BANAKH O.
(Univ. of Applied Sciences, HE-ARC, Avenue de l’Hotel-de-Ville, 7, CH-2400 Le Locle, CHE)
,
STEINMANN P.-a.
(Univ. of Applied Sciences, HE-ARC, Avenue de l’Hotel-de-Ville, 7, CH-2400 Le Locle, CHE)
,
DUMITRESCU-BUFORN L.
(Univ. of Applied Sciences, HE-ARC, Avenue de l’Hotel-de-Ville, 7, CH-2400 Le Locle, CHE)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
513
号:
1-2
ページ:
136-141
発行年:
2006年08月14日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)