文献
J-GLOBAL ID:200902271513237192
整理番号:07A1139361
サブ100nm多孔質誘電体構造の起伏: 力学的解析
Undulation of sub-100 nm porous dielectric structures: A mechanical analysis
著者 (6件):
DARNON M.
(LTM/CNRS, CEA-LETI, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble Cedex 09, FRA)
,
CHEVOLLEAU T.
(LTM/CNRS, CEA-LETI, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble Cedex 09, FRA)
,
JOUBERT O.
(LTM/CNRS, CEA-LETI, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble Cedex 09, FRA)
,
MAITREJEAN S.
(CEA/LETI/Minatec/D2NT, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble Cedex 09, FRA)
,
BARBE J. C.
(CEA/LETI/Minatec/D2NT, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble Cedex 09, FRA)
,
TORRES J.
(STMicroelectronics, Central R&D, 850 rue J. Monnet, 38926 Crolles Cedex, FRA)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
91
号:
19
ページ:
194103-194103-3
発行年:
2007年11月05日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)