文献
J-GLOBAL ID:200902272796496845
整理番号:05A0894699
海底での応用のためのマイクロ加工された熱せん断応力センサ
Micromachined Thermal Shear-Stress Sensor for Underwater Applications
著者 (7件):
XU Yong
(Wayne State Univ., MI, USA)
,
LIN Qiao
(Carnegie Mellon Univ., PA, USA)
,
LIN Guoyu
(ANSYS, Inc., PA, USA)
,
KATRAGADDA Rakesh B.
(Wayne State Univ., MI, USA)
,
JIANG Fukang
(Umachines, Inc., CA, USA)
,
TUNG Steve
(Univ. Arkansas, AR, USA)
,
TAI Yu-Chong
(California Inst. Technol., CA, USA)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
14
号:
5
ページ:
1023-1030
発行年:
2005年10月
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)