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文献
J-GLOBAL ID:200902273171991577   整理番号:07A0474245

二次元GaAs/AlGaAsフォトニック結晶スラブのナノメータスケールの空気孔アレイの精密なドライエッチング制御

Precise control of dry etching for nanometer scale air-hole arrays in two-dimensional GaAs/AlGaAs photonic crystal slabs
著者 (10件):
IKEDA Naoki
(Center for Tsukuba Advanced Res. Alliance, Univ. of Tsukuba, 1-1-1 Tennoudai, Tsukuba 305-8577, JPN)
IKEDA Naoki
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba 305-8568, JPN)
SUGIMOTO Yoshimasa
(Center for Tsukuba Advanced Res. Alliance, Univ. of Tsukuba, 1-1-1 Tennoudai, Tsukuba 305-8577, JPN)
SUGIMOTO Yoshimasa
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba 305-8568, JPN)
WATANABE Yoshinori
(Center for Tsukuba Advanced Res. Alliance, Univ. of Tsukuba, 1-1-1 Tennoudai, Tsukuba 305-8577, JPN)
OZAKI Nobuhiko
(Center for Tsukuba Advanced Res. Alliance, Univ. of Tsukuba, 1-1-1 Tennoudai, Tsukuba 305-8577, JPN)
TAKATA Yoshiaki
(Center for Tsukuba Advanced Res. Alliance, Univ. of Tsukuba, 1-1-1 Tennoudai, Tsukuba 305-8577, JPN)
TANAKA Yu
(Fujitsu Laboratories Ltd., Atsugi 243-0197, JPN)
INOUE Kuon
(Chitose Inst. of Sci. and Technol., Chitose 066-8655, JPN)
ASAKAWA Kiyoshi
(Center for Tsukuba Advanced Res. Alliance, Univ. of Tsukuba, 1-1-1 Tennoudai, Tsukuba 305-8577, JPN)

資料名:
Optics Communications  (Optics Communications)

巻: 275  号:ページ: 257-267  発行年: 2007年07月01日 
JST資料番号: A0678B  ISSN: 0030-4018  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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