文献
J-GLOBAL ID:200902273284161139
整理番号:06A0037155
鉄汚染されたpオンp+エピタキシャルシリコンウエハにおけるシリコンの局所酸化が誘起したギャップ状態
Gap States Induced by Local Oxidation of Silicon in Iron-Contaminated p on p+ Epitaxial Silicon Wafers
著者 (1件):
HORIKAWA Mitsuhiro
(Elpida Memory Inc., Hiroshima, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
44
号:
12
ページ:
8293-8299
発行年:
2005年12月15日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)