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文献
J-GLOBAL ID：200902273291581542
整理番号：07A0548480
シリコンの触媒参照エッチング
Catalyst-referred etching of silicon
HARA Hideyuki
(Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka ...)
,
SANO Yasuhisa
(Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka ...)
,
ARIMA Kenta
(Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka ...)
,
YAGI Keita
(Res. Center for Ultra Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., JPN)
,
MURATA Junji
(Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka ...)
,
KUBOTA Akihisa
(Dep. of Mechanical Engineering and Materials Sci., Kumamoto Univ., JPN)
,
MIMURA Hidekazu
(Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka ...)
,
YAMAUCHI Kazuto
(Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka ...)
資料名：
Science and Technology of Advanced Materials
(Science and Technology of Advanced Materials)
巻： 8 号： 3 ページ： 162-165 発行年： 2007年04月
JST資料番号： W1262A ISSN： 1468-6996 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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