文献
J-GLOBAL ID:200902273683421772
整理番号:03A0344561
SiC膜の表面分解による大きい自立したカーボンナノチューブ膜上の絶縁体上けい素基板の作製
Preparation of Silicon-on-Insulator Substrate on Large Free-Standing Carbon Nanotube Film Formation by Surface Decomposition of SiC Film.
著者 (3件):
NAGANO T
(Japan Fine Ceramics Center, Nagoya, JPN)
,
ISHIKAWA Y
(Japan Fine Ceramics Center, Nagoya, JPN)
,
SHIBATA N
(Japan Fine Ceramics Center, Nagoya, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
42
号:
4A
ページ:
1717-1721
発行年:
2003年04月15日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)