文献
J-GLOBAL ID:200902273717171975
整理番号:09A0805331
ナノインプリントテンプレート用のEBM-6000及びEBM-7000の分解能可能性
Resolution capability of EBM-6000 and EBM-7000 for Nano-imprint template
著者 (2件):
YOSHITAKE S.
(NuFlare Technol., Inc., Yokohama, JPN)
,
KAMIKUBO T.
(NuFlare Technol., Inc., Yokohama, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
7470
ページ:
74700H.1-74700H.7
発行年:
2009年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)