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文献
J-GLOBAL ID：200902273807604757
整理番号：05A0488812
光データ蓄積のためのシリコン上集積可変形ミラー
Integrated deformable mirror on silicon for optical data storage
FANGET Stephane
(CEA-DRT-LETI, Grenoble, FRA)
,
LABEYE Pierre
(CEA-DRT-LETI, Grenoble, FRA)
,
DIVOUX Claire
(CEA-DRT-LETI, Grenoble, FRA)
,
HUGON Xavier
(CEA-DRT-LETI, Grenoble, FRA)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 5721 ページ： 159-169 発行年： 2005年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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