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文献
J-GLOBAL ID：200902273906972164
整理番号：05A1019566
マルネトロンスパッタリングで作製した二酸化チタン薄膜の誘電および輸送性質
Dielectric and transport properties of magnetron sputtered titanium dioxide thin films
KARUNAGARAN B.
(Semiconductor Physics Res. Center, Dep. of Semiconductor Sci. and Technol., Chonbuk National Univ., Jeonju 561-756, KOR)
,
CHUNG S.j.
(Semiconductor Physics Res. Center, Dep. of Semiconductor Sci. and Technol., Chonbuk National Univ., Jeonju 561-756, KOR)
,
SUH E.-k.
(Semiconductor Physics Res. Center, Dep. of Semiconductor Sci. and Technol., Chonbuk National Univ., Jeonju 561-756, KOR)
,
MANGALARAJ D.
(Thin Film Lab., Dep. of Physics, Bharathiar Univ., Coimbatore 641046, IND)
資料名：
Physica B. Condensed Matter
(Physica B. Condensed Matter)
巻： 369 号： 1-4 ページ： 129-134 発行年： 2005年12月01日
JST資料番号： H0676B ISSN： 0921-4526 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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