文献
J-GLOBAL ID:200902274536716755
整理番号:03A0407377
CO2レーザによるガラス基板の穴加工
Hole Drilling of Glass Substrates with a CO2 Laser
著者 (2件):
OGURA H
(Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kanagawa, JPN)
,
YOSHIDA Y
(Toyo Univ., Saitama, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
42
号:
5A
ページ:
2881-2886
発行年:
2003年05月15日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)