文献
J-GLOBAL ID:200902274545567851
整理番号:04A0800638
CMOS集積化のhigh-kゲートスタックとの問題
CMOS Integration Issues with High-K Gate Stack
著者 (1件):
KWONG D-L
(Univ. Texas at Austin, TX)
資料名:
Proceedings of the International Symposium on the Physical & Failure Analysis of Integrated Circuits
(Proceedings of the International Symposium on the Physical & Failure Analysis of Integrated Circuits)
巻:
11th
ページ:
17-20
発行年:
2004年
JST資料番号:
W1259A
ISSN:
1946-1542
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
解説
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)