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文献
J-GLOBAL ID：200902274699177681
整理番号：04A0543852
通常の接触アライナを用いたインプリント/フォトハイブリッドリソグラフィー
Imprint/Photo Hybrid Lithography Using Conventional Contact Aligner
KAWATA H
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
HIRAI Y
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
KIKUTA H
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 43 号： 6B ページ： 4027-4030 発行年： 2004年06月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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